陕西屹达空压机有限公司

分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一真空泵生产厂家，所以分子泵的排气时间比低温泵长真空泵。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵厂家根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为"高"真空。若要较低的压力真空泵价格，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，如果水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333Pa。水泵所能抽到的低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时，应在水泵前装上安全瓶，以防水压下降，水流倒吸；停止抽气前，应先放气，然后关水泵。

电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。(1)a将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却;(2)定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力;(3)将真空泵所在母线电压调整为400V。

真空泵冒烟和喷油1.冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。涡街流量计2.喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气露大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点;排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。